Hệ thống lọc nitơ độ tinh khiết cao cho các ứng dụng bán dẫn
Thiết bị tinh chế nitơ loại khử oxy và bổ sung cacbon tiếp tục xử lý 99,9% nitơ được chiết xuất từ cơ chế tạo nitơ, khiến 0,1% oxy trong nitơ phản ứng hóa học với chất khử oxy cacbon để tạo ra cacbon dioxit và loại bỏ cacbon dioxit và hơi nước khỏi nitơ, tinh chế nitơ lên hơn 99,999%, cải thiện chất lượng khí thành phẩm, thích ứng với các ngành công nghiệp có yêu cầu đặc biệt về độ tinh khiết và chất lượng khí.
Hệ thống lọc nitơ độ tinh khiết cao cho các ứng dụng bán dẫn
Phạm vi áp dụng
Phù hợp với người sử dụng nitơ có độ tinh khiết cao, đặc biệt là vật liệu từ tính, công nghiệp điện tử và các quy trình khác có yêu cầu nghiêm ngặt về oxy và hydro.
Thông số kỹ thuật
| Người mẫu | (Nm³/giờ) | DN(mm) Đầu vào/Đầu ra Đường kính | (kg) Trọng lượng của cacbon chất khử oxy | Làm mát Nước (th) | Công suất áp dụng(kw) | Khu vực thiết bị kích cỡ(mm) | (HBTDC)Trọng lượng của 13 X phân tử sàng(kg) | |||
| Đồng tính, song tính và chuyển giới | HBTDC | Đồng tính, song tính và chuyển giới | HBTDC | Đồng tính, song tính và chuyển giới | HBTDC | |||||
| LGBT-130 | HBTDC-130 | ≤30 | DN25 | 130 | 0,2 | 9 | 12 | 2000*1350*2300 | 2500*1350*2300 | 75 |
| LGBT-200 | HBTDC-200 | ≤60 | DN40 | 200 | 0,5 | 18 | 22,5 | 2200*1550*2600 | 2700*1550*2600 | 100 |
| LGBT-240 | HBTDC-240 | ≤100 | DN40 | 240 | 0,8 | 24 | 30 | 2350*1850*2850 | 2850*1850*2850 | 160 |
| HBT-380 | HBTDC-380 | ≤150 | DN50 | 380 | 1.1 | 27 | 36 | 2650*1700*3350 | 3150*1700*3350 | 230 |
| HBT-430 | HBTDC-430 | ≤200 | DN50 | 430 | 1,5 | 39 | 48 | 3050*1700*3000 | 3550*1700*3000 | 230 |
| HBT-670 | HBTDC-670 | ≤250 | DN50 | 670 | 1.9 | 45 | 57 | 3250*1800*3100 | 3750*1800*3100 | 260 |
| HBT-720 | HBTDC-720 | ≤300 | DN65 | 720 | 2.2 | 45 | 57 | 3250*2100*3200 | 3750*2100*3200 | 260 |
| HBT-1200 | HBTDC-1200 | ≤400 | DN65 | 1200 | 3 | 54 | 66 | 3400*2100*3700 | 3900*2100*3700 | 260 |
| LGBT-1440 | HBTDC-1440 | ≤600 | DN65 | 1440 | 4.4 | 75 | 90 | 3800*2950*3800 | 4300*2950*3800 | 380 |
| HBT-2400 | HBTDC-2400 | ≤1000 | DN65 | 2400 | 7.4 | 90 | 105 | 5350*2950*4000 | 5850*2950*4000 | 380 |
| Lưu ý: Dữ liệu trên dựa trên áp suất khí cấp 0,8Mpa(G), nhiệt độ môi trường 20℃, độ cao 0 m và độ ẩm tương đối 80% làm cơ sở thiết kế. Lưu ý 2: Công suất được tính dựa trên lưu lượng. Công suất trong bảng được xác định theo lưu lượng ở độ tinh khiết 39%. | ||||||||||
