Máy lọc khí để loại bỏ độ ẩm và được sử dụng để chế tạo chất bán dẫn
Thích hợp cho chất bán dẫn điện tử, mạch tích hợp quy mô lớn, MAMS, silicon đơn tinh thể, silicon đa tinh thể và silicon epitaxy, LED, TFT, gali nitride, silicon carbide, nghiên cứu và phát triển khoa học, phân tích thực nghiệm, v.v.
Đặc trưng
● Thích hợp cho nitơ, hydro, oxy, argon, heli và amoniac. Khí thô không dưới 99,999%. ● Loại bỏ sâu các tạp chất O2, H2O, CO, CO2, H2, N2, CH2 và NMHC xuống 1ppB / 10ppB. ● Tái sinh hấp phụ xen kẽ tháp đôi, xúc tác tháp đơn, hấp phụ Getter đầu cuối, hoạt động liên tục tự động. ● Phụ kiện ống thép không gỉ đánh bóng EP class 316L. ● Với bộ lọc 0,003 m, tỷ lệ loại bỏ có thể đạt tới 99,999999% /99,99999%. ● PLC Siemens có thể kết nối với hệ thống DCS. ● Chức năng báo động an ninh hoàn hảo. ● Có sẵn dịch vụ đám mây từ xa. ● Sản xuất và lắp ráp trong môi trường siêu sạch. ● Công suất khí 10-20000nm3/h. |  |
