
Máy lọc khí/Hệ thống lọc/Máy phát điện có độ tinh khiết cực cao
Các lĩnh vực ứng dụng: chất bán dẫn điện tử, mạch tích hợp quy mô lớn, MAMS, silicon đơn tinh thể, silicon đa tinh thể và silicon epitaxy, LED, TFT, gali nitride, silicon carbide, nghiên cứu và phát triển khoa học, phân tích thực nghiệm, v.v.
Máy lọc khí/Hệ thống lọc/Máy phát điện có độ tinh khiết cực cao
Đặc trưng
● Hai tháp luân phiên tái sinh hấp phụ, hoạt động liên tục tự động. | ![]() |
Tham số bảng
Các mẫu series | Đối với khí đốt | Chỉ số khí thô | Chỉ số khí sản phẩm | |||||||||||
N2 | H2 | CÁC2 | Với | Anh ta | CÁC2 | H2CÁC | CO2 | CO | CH4 | H2 | N2 | Độ chi tiết | ||
9VV | ● | ● | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | — | ≤0,1ppb | — | 0,003mtôi |
9OVV | ● | — | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | — | 0,003mtôi |
9VVX | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | 0,003mtôi |
— | ● | — | — | — | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | — | ≤0,1ppb | 0,003mtôi | ||
9X | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | 0,003mtôi |
— | ● | — | — | — | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | ≤0,1ppb | — | ≤0,1ppb | 0,003mtôi | ||
Lưu ý: Thông số kỹ thuật lưu lượng chung:1-20000Nm3/giờ;Áp suất thường dùng:1-20Mpa |